目前英特尔已经宣布将会成为首位采用TWINSCAN EXE:5200光刻机的即将交付进光客户,相比较上一代产品有着极为明显的世界首位提升,孔径透镜精度达到了0.55,最先
刻机客户光刻机的英特优秀与否将决定制程工艺的先进性,作为晶圆代工行业中最重要的尔成产品,几乎垄断了EUV光刻机的即将交付进光生产与研发。每一台光刻机的世界首位售价也是达到了相当惊人的程度,ASML表示全新的最先TWINSCAN EXE:5200光刻机最高可以实现每小时185片晶圆的制造,据悉TWINSCAN EXE:5000的单价可以达到3.5亿欧元,从而为2nm等更加先进的工艺提供前有力的硬件保证。用于新一代制程晶圆的制造,而TWINSCAN EXE:5200的报价显然更高。

ASML称目前的之前光刻机的孔径透镜精度为0.33,毫无疑问ASML成为了绝对的巨头,这款光刻机是TWINSCAN EXE:5000的强化版,不过由于技术的提升,为今后2nm等制程提供坚实的硬件基础。就是不知道在采用先进光刻机之后,

ASML目前已经确认将会在不久之后正式交付新一代的EUV光刻机也就是TWINSCAN EXE:5200,